第538章 误差真的降下来了！ (第2/2页)
陈知远。”
“嗯？”
“你小子这回……真给我们干了件大事。”
陈知远笑了笑。
“现在高兴还早，只是一种工况，而且只解决了其中一类漂移。”
“我知道。”
老梁抬手指向屏幕，声音却忍不住高了几分。
“可你知道我们为了这类误差折腾多久了吗？三个月！”
“三个月，光是重复排查就排了不知道多少次，现在你一套办法上去，直接少了六成！”
顾明远站在一旁，听得眉开眼笑。
前天周启山让陈知远参与整机讨论时，还只是希望这个年轻人能提供点新思路。
谁能想到，两天工夫，思路已经变成了机器上看得见的成绩。
周启山没有立刻说话。
他拿过完整报告，先看了测试工况，又看了参数切换记录，最后才抬起头。
“确实漂亮。”
老人笑着拍了拍陈知远的肩膀。
“不过，你刚才那句话说得对，一次漂亮，不算真正站稳。”
“再来？”陈知远问。
“当然再来！”
第二轮、第三轮测试接连进行。
这次不用谁催，工作人员个个比刚才还认真。
数据陆续出来。
一点九纳米。
一点七纳米。
并不是每次都完全相同，但都稳定落在明显优于原方案的区间里。
更重要的是，系统没有出现异常的补偿振荡，也没有触发预设的回退条件。
当第三份报告打印出来时，老梁终于忍不住笑出了声。
“成了！”
旁边的年轻研究员跟着握紧拳头。
他们当然知道，这还远远不是整台EUV光刻机的综合精度，更谈不上已经具备稳定量产能力。
但这并不妨碍他们激动。
因为困扰整机联调数月的一类关键漂移，终于有了能够在真实设备上重复兑现的解决办法。
周启山把三份报告摊在一起。
“顾明远。”
“周院士？”
“你当初把人往我们这儿推荐的时候，说他值得试试。”
周启山笑着摇了摇头。
“你这哪里是给我推荐了一个学生啊。”
顾明远也笑了：“我倒是想多夸两句，怕您以为我吹牛。”
“现在不用你吹。”
周启山敲了敲桌上的测试报告。
“成绩在这儿摆着。”
他随即转向老梁。
“把今天的对照结果整理出来，连同风险边界一起送专项技术组，动态补偿这条路线，正式列入下一阶段整机控制优化安排。”
“明白！”
“还有，后续方案由知远继续牵头，该配合的人员、设备窗口，你们提前协调。”
老梁答应得十分干脆。
放在两天前，要说让一个十九岁的大学生牵头推进国家重大专项中的整机控制优化，恐怕不少人都会觉得离谱。
可现在，控制室里的几位研究员没有一个觉得不妥。
这个年轻人的本事，他们已经亲眼见识过了。
陈知远倒没把这些话放在心上。
他正低头翻看第三轮的记录。
“周院士。”
“怎么？”
“短时间的受控测试没问题，不代表连续运行也能保持这个效果。”
周启山看了他一眼，笑容更深了。
“想到一块儿去了。”
“我打算申请下一次长时间测试窗口，把负荷变化和不同运行节拍都加进去。那才是真正难啃的骨头。”
“可以。”陈知远合上报告，“不过我建议把工况变化一起纳入，别只在今天这个条件下重复跑。”
老梁听得直咧嘴。
“刚干成一件事，就准备给自己加难度？”
“早晚要测。”陈知远笑道，“现在模型哪里好用、哪里不好用，我心里反而更清楚，趁热打铁比较合适。”
周启山看着他，点了点头。
“行，就按这个方向准备。”
他拿起电话，通知整机测试组协调连续运行验证窗口。
放下手机时，屏幕上还并排显示着今天的三组结果。
4.5纳米。
1.8纳米。
百分之六十。
那不过是一项局部指标的改善，却是他们已经盼了很久的实实在在的进展。
而对陈知远来说，这还只是开始。
下一次，他们要面对的，将不再是短短一轮测试。
而是这台国产EUV光刻机在持续运行中，真正暴露出来的难题。